Сканирующая электронная микроскопия с энергодисперсионным химическим анализом

Сканирующий электронный микроскоп JSM-5610 LV
c системой химического анализа EDX JED-2201
JEOL (Япония)

Изучение микроструктуры и химического состава самого широкого круга материалов: металлы, сплавы, керамика, полупроводниковые материалы, микромеханика, полимеры, синтетическая продукция, биологические объекты и др. Наличие низковакуумнного режима работы микроскопа позволяет исследовать непроводящие неорганические и органические объекты без пробоподготовки и нанесения проводящих покрытий, т.е. получать изображение с реальной поверхности. Наличие двух типов детекторов позволяет получать изображения в режимах вторичных и обратно-отраженных электронов. Сканирующий электронный микроскоп JSM-5610 LV оснащен системой химического микроанализа EDX JED-2201, позволяющей производить одновременный автоматический качественный и количественный химический анализ до 99 интересующих участков изображения исследуемого объекта.

JSM-5610 LV

Хлорид натрия

Технические характеристики:

Разрешающая способность:
режим низкого вакуума	4.5 нм
режим высокого вакуума	3.0 нм
Увеличение	от х18 до х300 000

Дигидрофосфат калия

Микромеханическая шестерня

Оксид цинка

Древесина

Человеческий волос

Корень ресницы человека

JED-2201

Позволяет производить неразрушающий качественный и количественный рентгеновский энергодисперсионный химический анализ объектов, а также получать карты и профили распределения элементов.

Технические характеристики:

Анализируемые элементы	от В (бор) до U (уран)
Диапазон определяемых концентраций	0.1-100 %

Микросхема

Распределение кислорода

Распределение алюминия

Распределение кремния